高純度アルミナセラミックスによる各種アルミナAL2O3の製造加工販売メーカー アスザック(株) ファインセラミックス事業部
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 アルミナ(Al2O3)



アルミナの特徴

製品写真 アルミナ

アルミナは電気絶縁性が高く、耐摩耗性、化学的安定性もある割に比較的安価で、 ファインセラミックスの代名詞的な材質です。
アスザックでは、高純度、高性能な各種グレードのアルミナセラミックスを取り揃えています。

アルミナ板のネット販売もしております。お急ぎの方におすすめです。ネット販売ページはこちらから



 アルミナはこのような用途・目的に使われています!!
半導体製造装置や液晶製造装置などのチャンバー内部品や搬送アームに使用されています。

 アルミナのこんな特長が生かされています!!
電気絶縁性(1015Ωcm)が高いのでチャンバー内での絶縁部品として、搬送アームは金属や樹脂と比べて曲げ強度があることから反りが発生しにくいためアーム自体を薄くできます。

 アスザックは他にもこんな使い方をご提案します!!
大型アルミナ(3m以上の製品も可)や空洞セラミックス化(接着剤無しでのトンネル形状)が可能なので、半導体Φ450ウエハ製造装置や液晶G10ガラス基板製造装置などでの大型セラミックスも対応できます。

アルミナ(Al2O3)の中でもアスザックは、通常アルミナで4グレード【AR-99.6ARWARKAR-4N】、特殊アルミナで1グレード【AR(B)】を取りそろえております。
以下にそれぞれの特長と詳細がございますので、用途に応じてお選びください。


AR-99.6

ファインセラミックスの中でも機械的、熱的、電気的、磁気的、化学的に様々な優れた特性をもつアルミナです。
その中でも最も汎用的なアルミナ純度99.6%以上のグレードです。

主にパソコンなどの電子機器部品を作る上で必要な絶縁材料や工作部品など多方面でお引き合いを頂いております。
又指先サイズの小物品から、長さ3m程度の長尺品まで御希望の製品形状に加工が可能です。

製品写真 アルミナ  製品写真 アルミナ
アルミナ99.6% AR-99.6製品例

こちらから99.6%のアルミナのプレートをお買い得価格にてお求め頂けます。
お気軽にお試し頂き、製品の性能をご確認ください。 ネット販売ページはこちらから


ARW / ARK

ドクターブレード法という成型法で作られる薄型のアルミナです。

色は白色で、アルミナ基板、ダミーウエハーなどに実績があります。
ARWは純度99.6%で、ARKは純度96%です。
厚みは1〜2t程度の薄型製品を安価にお作りすることができるグレードです。

薄型アルミナ
ARW ARK 製品例


AR-4N

高純度のアルミナ原料を使用して製造した、金属不純物の少ないグレードです。

ラインナップとなっているAR-99.6ではNa濃度0.08%以下、K濃度0.01%以下、Fe濃度0.09%以下、Ti濃度0.01%以下に対して、AR-4NはNa濃度0.003%以下、K濃度0.001%以下、Fe濃度0.003%以下、Ti濃度0.001%以下の純度です。
特にppmオーダーで不純物を制限されている用途には効果的なグレードです。




AR(B) ブラックアルミナ

アルミナの機械的特性を保有しつつ、反射率の低いセラミックスです。
現在半導体・液晶製造装置用のアルミナ系ファインセラミックスは、白色又はアイボリー系が主力で光源周囲や焦点面周囲の部品として使用された場合、光を反射しフレア等の原因となりますが、ブラックアルミナは、ファインセラミックスの特長である強度、 耐久性を維持しながら表面反射を抑える事ができます。(反射率は波長240〜2600nmで5.1〜15.3%)
純度はスリーナイン(99.9%)アルミナと同等で不純物も少なく、大気中での使用可能温度は300℃と光源近くの過酷な使用環境に耐えることができます。

ブラックアルミナ  ブラックアルミナ
AR(B) ブラックアルミナ


【 アルミナ 物性一覧 】
  アルミナ
AR-99.6 ARW ARK AR-4N AR(B)
含有量(Al2O3) 99.6 99.6 96.0 99.99 99.9
色調 象牙色 白色 白色 白色 黒色
密度 g/cm3 3.94 3.90 3.75 3.94 3.75
機械 曲げ強さ MPa 370 400 370 330 539
ヤング率 GPa 390 370 340 360 363
硬度 GPa 14.7 14.7 14.0 15.7 10.6
ポアソン比 0.24 0.24 0.24 0.23 0.23
破壊靭性 MPa m1/2 4.0 3.0 3.0 4.0 3.2
熱膨張率 10-6[常温〜800℃] 7.7 7.7 7.7 7.7 8.1
熱伝導率 W/(m・K) 32.0 28.0 23.0 31.0 31.2
比熱 J/(kg・K) 0.78×103 0.78×103 0.78×103 0.78×103 0.80×103
電気 誘電率 [1MHz] 10.2 9.7 9.5 9.5 16.7
誘電正接 tanδ x10-4[1MHz] 70 5 5 5 10
体積抵抗率 Ω・cm >1015 >1015 >1015 >1015 >1014
耐電圧 kV/mm 13.0 14.5 14.5 13.0 9.3
反射率
[波長240〜2,600nm,
測定面Ra0.8程度]
18〜93 5.1〜15.3
特徴・用途等    高強度
絶縁性大
耐磨耗性
高強度
絶縁性大
耐磨耗性
高強度
絶縁性大
耐磨耗性
高強度
絶縁性大
耐磨耗性
高純度
コンタミ対策
黒色
低反射率
(高絶縁性・高温では
還元雰囲気での使用)
※上記数値は参考値です。製品の形状や使用状態により異なる場合があります。
※反射率は光の波長によって異なります。詳細をご希望の方はお問い合わせ下さい。

アルミナの他、ジルコニア・炭化珪素などの物性もまとめた一覧表はこちらをご覧ください。
pdf 公開物性一覧表 (PDF49kb)


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