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セラミックス製造 搬送ハンド

製 品

搬送ハンド

搬送ハンド

  • 搬送ハンドとは

  • 搬送ハンドとは

    シリコンウエハをロボットを使い、カセットやプロセスチャンバーからの出し入れする際に使用します。
    セラミックスを使う理由としましては、高強度によるタワミ削減、高温環境にも強く、金属汚染、発塵といった問題点を解決する為に使用されています。

目的・用途

  • 空洞一体型ハンド

    空洞一体型ハンド

  • トレイ式ハンド

    トレイ式ハンド

  • 多孔質埋め込みハンド

    多孔質埋め込みハンド

材 料

以下の3種類からお選びいただけます。
※サイズにより製作できない材料もございます。

  • アルミナ

    アルミナ

    電気絶縁性が高く、耐摩耗性、化学的安定性もある割に比較的安価で、 ファインセラミックスの代表的な材料です。

  • 炭化ケイ素

    炭化ケイ素

    ダイヤモンド、炭化ホウ素に次ぐ硬さを持ち、耐熱、耐摩耗性、ヤング率が高く、熱膨張係数が小さい化学的安定性に優れた材料です。

  • コルシード

    コルシード

    金属に近い導電性を有し、緻密質でパーティクル対策に有効な材料です。

  • アスザックの中空一体成型オリジナル搬送ハンド

    アウトガスゼロ接着剤不使用

    アスザックの中空一体成型オリジナル搬送ハンド

    特にアスザックは中空一体成型技術を用い、接着材を一切使わずに真空ラインを形成した真空チャック式セラミックスハンドをご提供いたします。

    接着剤を使わずに空洞を成形できるため、接着剤を使うことで起きる問題の心配がなく、製作コストも削減できます。
    高温下での使用も出来、耐久性が良く、有機系のアウトガス対策にも有利です。

  • 最小
    (mm)
    最大
    (mm)
    A全体の厚み 1.5 4
    B中空部の厚み 0.5 0.7
    C中空部と表面の壁厚み 0.5 -
    D中空部の幅 2 6
    E端面からの限界距離 2 -
    F吸着穴径 10 230
    G中空部の長さ - 360

    ※製品サイズによりますので詳しくはお問い合せ下さい。

  • 規格品もご用意しています。
  • 規格品もご用意しています。

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