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高純度アルミナセラミックスをはじめ各種セラミックスの製造加工販売メーカー アスザック(株) ファインセラミックス事業部 アスザックが独自設計した半導体ウエハ搬送ハンドの販売。お気軽にお問合せください。 |
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アスザックが独自設計した半導体ウエハ搬送ハンドの販売始めました。 アスザックは中空一体成型技術を用い、接着材を一切使わずに真空ラインを形成した 真空チャック式セラミックスハンドおよびトレー(ウエハ落とし込み)式セラミックハンドをご提供いたします。
セラミックスの特性を活かした「耐熱性」や「同型金属製ハンドに比べ少ないタワミ量」などを持ったハンドをご提供。特に真空チャック式セラミックハンドについては、接着剤を使用しないため高温下での使用も可能で、接着剤からの有機系のアウトガス対策にも有効です。
また、当社独自設計のハンドのため、短納期・低コストでご提供いたします。 ウエハ移載機や試作・評価用装置などにぜひご検討ください。*真空チャック式ハンドの吸着性能につきましては、弊社社内規定により流量・リーク検査を行っております。
詳しくはお問い合わせください。
| ウエハサイズ | 真空吸着式ハンド | トレー式ハンド |
|---|---|---|
| 12インチ | ![]() 名称:AZHAND 12(VAC) |
![]() 名称:AZHAND 12 |
| 8インチ | ![]() 名称:AZHAND 8(VAC) |
![]() 名称:AZHAND 8 |
図面を希望される方は下のお問合わせフォームからどうぞ。