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導電性セラミックス 「コルシード」|セラミックス技術コラム

セラミックス技術コラム

導電性セラミックス
「コルシード」

自己導電性を持つ「コルシード」は、静電気除去のシリコンウェハー用エンドエフェクターとして注目を浴びております。
現在エンドエフェクターに多く採用されているアルミナに比べて、コルシードはヤング率が3割程度低く先端でのたわみ量が大きくなる傾向があります。


アスザック技術陣は更に機械的強度を増すべく取り組んで参りました。
現時点では曲げ強度は3割程向上し、ヤング率の向上は今後も進めますが、現状でも使用に耐えうる性能が十分出せていると思われます。

アルミナとコルシードのたわみ量をモデル比較してみます。

たわみ


モデル300×100×3t、拘束50mm、荷重130gの場合
コルシード: たわみ量⊿X=0.55mm
アルミナ: たわみ量⊿X=0.45mm

比較表 アルミナ コルシード
曲げ強さ 340MPa 230MPa
ヤング率 380GPa 280GPa
硬さ(Hv) 17GPa 12GPa
(全てのデータは2003年12月準拠)


機械的強度はアルミナに比べ劣りますが、アルミナより柔軟さを利用できると思っています。

静電気除去用部品として、半導体レベルの抵抗値のため低温用ヒーターとして、お使いいただけます。

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