低熱膨張セラミック「アルシーマ-L」|セラミックス技術コラム
セラミックス技術コラム
低熱膨張セラミック
「アルシーマ-L」
アルシーマLは低熱膨張はガラスとほぼ同じく型離れも良いので成形治具に適しています。
通常のアルミナセラミックスなどに比べると熱衝撃に強く、低熱膨張・低熱伝導である事が特徴のセラミックスです。
耐熱性・低熱伝導性の特徴を活かして、高温箇所で使用される部品や焼成治具などの製作にも適しております。
また、セラミックスの中では軽量(密度2.4g/cm3)であり、半導体シリコンの密度に近いことから装置動作確認のモニター用ウエハーとして使われております。
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高純度焼成セッターは、研究品、開発品の特殊な形状にも対応します。
穴、溝、段(脚)づけ、コーティング、接着対応可能です。
◆ 高純度セッターの詳細はこちらから
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