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多孔質セラミックス|セラミックス材料

材 料

多孔質セラミックス

多孔質セラミックス

  • 多孔質アルミナセラミックス

    多孔質セラミックスとは、内部に無数の気孔(ポーラス)があるセラミックスです。
    ポーラスにより熱伝導率が低く、軽量な素材になります。
    主にフィルター、バブラー、バキュームチャック、エア吹き出し等に使用されます。
    気孔率別に、【AZPW40】、【AZPW45】、【AZP60】、【AZP-50】、【AZPWB40】がありますので、目的、用途に応じてご利用いただけます。


  • 多孔質SiCセラミックス

    アルミナの多孔質セラミックスの他に、SiCでの多孔質セラミックスも取り扱っておりますので、アルミナでは対応できない環境(急冷・急熱・フッ酸系の薬品使用)でもご利用いただけます。
    急冷・急熱が必要な光学レンズ製造型でのご利用はいかがでしょうか。

    気孔率40の【AZPS-40】をご用意しています。

  • 特長

  • 目的・用途

気孔率別特長

  • 多孔質セラミックス アルミナ

    AZPW-40 (気孔率40%)

    アルミナ

    薄物で吸着向け
    連通気孔で形成され、気孔径が大きいので吸着力が大きく、応答性に優れています。

    使用温度は1000℃まで可能です。

  • 多孔質セラミックス アルミナ

    AZPW-45 (気孔率43%)

    アルミナ

    厚物で吸着向け
    AZPW-40の改良タイプで、 それと比較すると気孔径が大きいです。
    強度は弱くなりますが、応答性が増します。

    使用温度は1000℃まで可能です。

  • 多孔質セラミックス アルミナ

    AZP-60 (気孔率60%)

    アルミナ

    吸着・軽量化向け
    表面が滑らかでワークにキズが付き難く、AZPW-40より応答性が落ちますが、部分吸着に向いています。

  • 多孔質セラミックス アルミナ

    AZP-50 (気孔率50%)

    アルミナ

    軽量化向け
    ほぼ閉気孔で形成され、材質は99.6%アルミナです。
    通常のアルミナと比較して、強度が3分の1程度です。

  • 多孔質セラミックス アルミナ

    AZPWB40 (気孔率35%)

    アルミナ

    光学検査治具向け
    光の反射を抑えた黒・グレー系色調の吸着面になっていますので、汚れが目立ちません。

  • 多孔質セラミックス アルミナ

    AZPS-40 (気孔率40%)

    SiC

    吸着向け
    連通気孔で形成され、気孔径が小さいので平滑性に優れます。

    真空雰囲気中で1400℃まで使用可能です。

多孔質SiCの微細加工

微細な連続気孔である多孔質セラミックスへ、さらに微細な加工も可能です。
小径穴加工や、細かな溝加工、突起加工、タップ加工など様々な加工が可能です。
ワークに合わせた吸着治具をはじめ、フィルターや金型用途、他パーツとの組合せなど、ご用途や仕様に合わせて製作します。

多孔質SiCの微細加工
穴加工:孔径φ0.7 厚み3t貫通 ピッチ1ミリ
多孔質SiCの微細加工
小サイズ製品:外径φ2.5×2.5L ザグリφ1.6×深さ2ミリ
多孔質SiCの微細加工
リブ加工:リブ幅0.5×高さ2ミリ
多孔質SiCの微細加工
ピン加工:□0.8深さ0.5ミリ
参考例の多孔質はすべて多孔質SiC「AZPS-40」です。
材質やグレードによっては製作できない場合や、仕様の変更をお願いすることがございますが、まずはお問合せください。

多孔質セラミックスの製造実績寸法 (mm)

最小薄さ 最大厚さ 面積 長さ
厚さ 面積 厚さ 面積 厚さ 面積 厚さ 長さ
AZP-50 0.2 ◻︎20 50 ◻︎50 15 ◻︎500 15 500 500
AZP-60 0.2 ◻︎20 50 ◻︎50 15 ◻︎500 15 500 500
AZPW-40 0.5 ◻︎30 50 ◻︎200 20 ◻︎300 10 50 600
AZPW-45 3 ◻︎30 50 ◻︎200 20 ◻︎180 10 50 600
AZPS-40 0.2 ◻︎20 50 ◻︎100 20 ◻︎310 20 50 600

※これ以上のサイズの製品をお求めの場合はお問い合せ下さい。
※形状によって製造可能寸法が異なりますので、目安としてご覧下さい。

多孔質セラミックス特性値の比較

項目 単位 吸着・断熱・軽量化用 吸着用
アルミナ系 SiC系
AZP50 AZP60 AZP60B AZPW40 AZPW45 AZPWB40 AZPS40
全気孔率 % 50 60 73 40 43 35 40
気孔径 μm 5〜40 5〜40 5〜40 50〜100 300~1000
50~200 5~30
かさ密度 g/cm3 1.82 1.57 1.04 2.56 2.4 2.48 1.9
通気率 (×10-13m2) 0.8 5.73 - 100 - 270 6.1
主成分純度 % 96 96 - 95 97 90 98
曲げ強度 MPa 60 35 30 76 17 22 80
誘電率 1MHz - - - 4.1 - - -
熱伝導率 W/(m・K) - - - 3 - 5 70
熱膨張係数 ×10-6 - - - 7.6 7.6 7.6 4.4
(RT-800℃) (RT-700℃) (RT-700℃)
耐熱温度
(大気中)
1600 1600 600 1400 1400 600 1400
(不活性雰囲気)
色調 - グレー
軽量化 × × ×
断熱 × × ×
バキュームチャック ×
用途 軽い、断熱用 表面粗さが細かい。フイルムや薄いワークの吸着に適している。 色は黒色画像処理用や反射防止用に適している。ウイックの用途でも使用可 バブラー 気孔径が一番大きい 色は黒色画像処理用や反射防止用に適している AZP60の用途を兼ね備え、強度面で一番強い。部分吸着も可
フィルター、整流、噴射 ×

多孔質セラミックスの参考動画

  • SiC 炭化ケイ素
    多孔質チャックの吸着テスト

  • 多孔質セラミック 非接触浮上ステージ

  • 大型多孔質チャックを使った吸着力テスト

  • 高温、強酸、強アルカリ雰囲気向け
    多孔質セラミックスバブラー

  • 多孔質セラミックス バブラー

  • 多孔質セラミックス 多方向フィルム吸着ピンセット

セラミックと多孔質セラミックスの物性比較

  • 誘電率【1MHz】

    多孔質セラミックス 誘電率【1MHz】

    電気をどれだけ蓄えるかを示します。
    低誘電損失材はプラズマを均一性を向上させる働きを持ちます。

  • 熱伝導率

    多孔質セラミックス 熱伝導率

    物質内での熱の伝わり易さを示します。
    多孔質はこの値が低く、熱の変化に対して強い物質になります。

  • 気孔率【%】

    多孔質セラミックス 気孔率【%】

    物体の中にどれだけ気孔が存在しているかを示します。しかし、気孔の存在形状が違うため、気孔率=通気性ではありません。
    通気性に関してはお問い合わせ下さい。

  • 曲げ強度【MPa】

    多孔質セラミックス 曲げ強度【MPa】

    急激な負荷に対する強さを示します。
    緻密な物より強度は低下しますが他のメリットと比較しお選び下さい。

  • 嵩密度【g/cm3】

    多孔質セラミックス 嵩密度【g/cm3】

    体積当たりの重量を示します。
    普通のアルミナや炭化ケイ素より軽量化が可能です。

  • 通気率【×10-13m2】

    多孔質セラミックス 通気率【×10-13m2】

    多孔質セラミックスの通気率(JIS R 2115)です。
    アルミナの比較です。

  • ヤング率【GPa】

    多孔質セラミックス ヤング率【GPa】

    荷重に対するのび率を示します。この値が高いほど荷重に対して曲がらなく、剛性が強いと言えます。

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