高純度アルミナセラミックスなど各種セラミックの開発製造加工販売メーカー　アスザック(株) ファインセラミックス事業部
独自の成形技術により自由な気孔径、気孔率が可能な多孔質セラミックスを提案します。 		English | Korean | 中文
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　多孔質セラミックス


アスザックの多孔質セラミックス （多孔質アルミナ・多孔質SiC）

多孔質セラミックスとは、たくさんの気孔（ポーラス）があるセラミックスのことです。
アスザックでは多孔質セラミックスを手がけ始め、材質として、多孔質アルミナ・多孔質SiCの2種類を取り揃えております。
現在 数種類のラインナップがあり、用途別に皆様のご要望にお応えしています。
独自の成形技術により自由な気孔径、気孔率が可能な多孔質セラミックスを提案します。

ご希望がありましたらお気軽にご相談下さい。

　多孔質セラミックスはこのような用途・目的に使われています！！
薄いウエハ・薄いフィルムなどの吸着治具として使用されています。
ガスは通しますが、プラズマは通さない為、プラズマ装置の治具として使われています。

　多孔質セラミックスのこんな特長が生かされています！！
多孔質のセラミックスですので、絶縁性・耐熱性があります。
大きさによりますが、平面平行度5μm程度が可能であり、装置の高精度化が可能になります。

　アスザックは他にもこんな使い方をご提案します！！
一般的なアルミナの多孔質セラミックスの他に、SiCでの多孔質セラミックスも取り扱っておりますので、アルミナでは対応できない環境（急冷・急熱・フッ酸系の薬品使用）でのご利用に多孔質SiCを検討下さい。
急冷・急熱が必要な光学レンズ製造型でのご利用はいかがでしょうか。

多孔質セラミックスの中でも気孔率の違いから、アスザックは、アルミナ素材の【AZP60】、【AZPW40】、【AZPW45】と、SiC素材の【AZPS40】を取りそろえております。
以下にそれぞれの特長と詳細がございますので、用途に応じてお選びください。


多孔質セラミックスの特徴

  • ●材質：高純度アルミナ(純度99.6％)、炭化ケイ素（SiC）
  • ●低熱伝導率
  • ●低誘電率
  • ●ネジ加工（タップ、ブッシュ、インサート）など複雑形状も製作可能
  • ●気孔率は調整可能


多孔質セラミックスの用途

多孔質セラミックス
製品例：多孔質セラミックスを使ったチャック
（白いところが多孔質材です）
  • ●多孔質真空セラミックチャック
  • ●部材の軽量化（比重：アルミより軽い）
  • ●断熱プレート
  • ●吸着板
  • ●製膜装置などでの膜剥がれ防止部材
  • ●低誘電体としてのアプリケーション


多孔質セラミックスの種類

弊社では、製造方法の違いから、いくつかの種類の多孔質セラミックをご用意しております。
用途に応じて、ご希望のものをお選びください。
黒く見えるのが気孔部分になります。 この黒い部分が多いほど気孔率が上がり、空気を通りやすくします。
気孔率は調整可能ですので、別途ご相談ください。

下の画像は上から『AZPW-40』、『AZPW-45』、 『AZPS-40』、 『AZP-50』、『AZP-60』のサンプルを観察したものです。

多孔質セラミック画像

 ●AZPW-40（気孔率40％） 薄物で吸着向け

連通気孔で形成され、 材料はアルミナです。
気孔径が大きいので吸着力が大きく、
気孔率によるが当社グレード内では応答性に優れています。

使用温度は1400℃まで可能です。

 （写真の倍率　×200）
多孔質セラミック画像

 ●AZPW-45（気孔率43％） 厚物で吸着向け

AZPW40の改良タイプで、 40と比較すると気孔径が大きいです。
強度は弱くなりますが、応答性が増します。

使用温度は1400℃まで可能です。

 （写真の倍率　×50）
多孔質セラミック画像

●AZPS-40（気孔率40％） 吸着向け

連通気孔で形成されている。　 材料は炭化ケイ素。
気孔径が小さいので平滑性に優れる。
吸着力が大きく、応答性が良い。

使用温度1400℃まで可能です。

（写真の倍率　×200）
多孔質セラミック画像

 ●AZP-50（気孔率50％） 軽量化向け

軽量化、低誘電率、表面粗さ大（溶射膜密着性大）
ほぼ閉気孔で形成され、材質は99.6％アルミナです。

 （写真の倍率　×200）
多孔質セラミック画像

 ●AZP-60（気孔率60％） 吸着・軽量化向け

ほぼ連通気孔で形成され、材料はアルミナです。

通常セラミックの多孔質アルミナです。
軽量・断熱向けのアルシーマよりも密度が低く軽量化向けです。

 （写真の倍率　×200）

強度をお求めでしたらアルシーマがオススメです。


多孔質セラミックスの製造実績寸法(mm)
種類 最小薄さ 最大厚さ 面積 長さ
厚さ 面積 厚さ 面積 厚さ 面積 厚さ 幅 長さ
AZP-50 0.2 20□ 50 50□ 15 500□ 15 500 500
AZP-60 0.2 20□ 50 50□ 15 500□ 15 500 500
AZPW-40 0.5 30□ 50 200□ 20 310□ 10 50 600
AZPW-45 3 30□ 50 200□ 20 310□ 10 50 600
AZPS-40 0.2 20□ 50 100□ 20 310□ 20 50 600
※これ以上のサイズの製品をお求めの場合はお問い合せ下さい。
※形状によって製造可能寸法が異なりますので、目安としてご覧下さい。


【 多孔質セラミックス特性値　アルミナ（AR99.6）・SiCとの比較 】
項目 単位 吸着・断熱・軽量化用 吸着用 アルミナ SiC アルシーマ
アルミナ系 SiC系
AZP-50 AZP60 AZPW40 AZPW45 AZPS40
全気孔率 % 50 60 40 43 40 1.0 2.2 7.3
気孔径 μm 5〜40 5〜40 50〜100 300〜1000 5〜30 - - 5〜20
かさ密度 g/cm3 1.82 1.57 2.56 2.4 1.9 3.94 3.15 2.41
通気率 （×10-13m2） 0.8 5.73 100 - 6.1 0 0 0
主成分純度 % 99.6 99.6 95 97 98 99.6 98 98
曲げ強度 MPa 91 69 76 17 90 370 410 146
誘電率 1MHz 4.4 3.4 4.1 - 320 10.2 - 4.8
熱伝導率 W/(m・K) 8 6 3 (20) 45 32 170 2.9
熱膨張係数 ×10-6
(RT-800℃)		 7.7 7.8 7.6
(RT-700℃)		 7.6
(RT-700℃)		 4.4 7.7 4.1 2.1
耐熱温度
（大気中）		 ℃ 1600 1600 1400 1400 1400 1600 1400 1300
色調 　- 白 白 白 白 黒 アイボリー 黒 灰色
用途 軽量化 ○ ○ × × ×  
断熱 ○ ○ × × ×
バキュームチャック × ○ ○ ○ ○
フィルター、整流、噴射 × ○ ○ ○ ○
※AZPW45の熱伝導率は参考値になります。(素材の粒径が大きく測定サンプルサイズにある気孔率が変化してしまう為)
※上記数値は参考値です。製品の形状や使用状態により異なる場合があります。
※反射率は光の波長によって異なります。詳細をご希望の方はお問い合わせ下さい。


社内規格の多孔質アルミナとその他のセラミックスとの物性比較です。
ご検討の際の目安にしてください。（黄色の棒グラフが多孔質セラミックスとなります）
誘電率 熱伝導率
電気をどれだけ蓄えるかを示します。
低誘電損失材はプラズマの均一性を
向上させる働きを持ちます。		 物質内での熱の伝わり易さを示します。
多孔質はこの値が低く、熱の変化に対して強い物質になります。
気孔率 曲げ強度
物体の中にどれだけ気孔が存在しているかを示します。
しかし、気孔の存在形状がそれぞれ違うため、
気孔率 = 通気性ではありません。
通気性に関しては別途お問い合わせ下さい。
(ARSM-L、SiC、AR99.6の開気孔率は0です)		 急激な負荷に対する強さを示します。
緻密なものより強度は低下しますが、
他のメリットと比較してお選び下さい。
AZPS40は吸着力もあり、強度も強いものになります。
嵩密度 通気率
体積当たりの重量を示します。
普通のアルミナや炭化珪素より軽量化が可能です。		 多孔質セラミックスの通気率（JIS　R 2115)です。
アルミナの比較です。

ジルコニア・炭化珪素の他、アルミナの物性もまとめた一覧表はこちらをご覧ください。
pdf 公開物性一覧表 (PDF49kb)

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こんな材料がほしい、大きい部品を作りたい、あんなことが出来れば、、、
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