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セラミックス製品 焼成治具製品 セッター

製 品

焼成治具製品

  • 焼成治具製品 セッター

  • セッター(棚板・敷板)・焼成治具とは

    電子部品やガラスの焼成に使用されるセッター(棚板・敷板・セラミック治具)です。
    アルミナ炭化ケイ素(SiC)アルシーマL(低熱膨張セラミック)多孔質など用途に応じた素材にて対応致します。

    「こんな形、厚み、加工はできるの?」「表面に特殊な加工をしたいけど・・」など質問要望などありましたら電話・ファックス・メール、またはページ下の問合せフォームからお気軽にお問合せ下さい。半導体業界・液晶業界で培ったノウハウをセッター分野にも活かし、お客様の要求品質に合わせたご提案もさせて頂きます。

     

特長

高緻密で高強度なセラミックスな為、薄型化が可能です。
高純度セラミックスを使用することにより炉内や、製品自体への汚染も防止できます。

製品例

  • 多孔質アルミナセッター
    薄くても高緻密・高強度です!

    多孔質アルミナ セッター

    多孔質アルミナ セッター

    薄型・高強度SiCセッター

    薄型・高強度SiCセッターで省スペース、省エネルギー焼成のご提案

    ・圧倒的に薄いため積み数を増やせます。

    ・軽量で熱伝導性が高いためエネルギー削減や焼成時間の短縮が望めます。
    (最薄1mm、推奨厚み2mm)


    ワークの材質や熱処理条件によってはSiCに触れると「異常反応」や「浸炭」、「接着」、「張り付き」が起きることがあります。
    焼成ワークとSiCの反応を確認するためのサンプルもご用意できますのでお気軽にご相談ください。
    反応等の問題がある場合は「被膜処理」や「多孔質アルミナセッター」との併用で軽量さを活かしつつ対策も可能です。

  • 大型ガラス基板の搬送アーム部分

    薄型SiCセッター

    300口までのサイズで対応できます。
    サイズ、形状などお気軽にご相談下さい。

  • ガラス基板のクランプや耐プラズマ用/絶縁用パーツ

    SiC 炭化ケイ素 コウバチ(匣鉢)

    軽くて熱に強いコンパクトなコウバチ(匣鉢)です。
    熱伝導性に優れ炉の生産性に寄与します。
    高温強度に強く薄く軽量化でき焼成量を増やして炉台の負荷を低減できます。
    焼成ワークとSiCの反応を確認するためのサンプル板もご用意できます。

  • 多孔質アルミナセッター

    多孔質アルミナセッター

    ・MIM(Metal Injection Molding)、焼結金属やフェライトの焼結時の脱脂効率を上げたい場合
    ・ワークが直接焼成治具に触れると「異常反応」や「浸炭」、「接着」、「張り付き」が起きてしまう場合

    多孔質なので、ガス状になった脂分がムラがなく均等に下面からも抜けていきます。
    薄くて軽量な焼成治具を探している方に多孔質アルミナセッターがおすすめです!

    セッターサイズ形状に合わせて製作します。

    熱効率のよいSiCセッターと組み合わせることにより使用用途が広がります。
    厚み2ミリ程度と軽量なのでSiCセッターの性能を活かせます。

比較

アルミナ 緻密質で高強度、耐薬品性に優れます。
純度は99.6%、99.99%です。
セッター製品例1 アルミナ長尺用 
アルミナ99.6
長尺基板用
アルシーマL 熱衝撃性が高く急昇温に耐えられます。
低熱膨張素材のため型などにも利用ができます。
製品例4 低熱膨張素材のアルシーマL 
アルシーマL
低熱膨張素材
多孔質 通常より気孔がある分軽量化が図れ脱脂工程でも役立ちます。
多孔質アルミナ・多孔質SiC
セッター製品例3 多孔質アルミナ 
多孔質アルミナ

データ

純度や素材違いによる熱特性によって、昇温を早めることが可能になり目的温度達成時間の短縮が可能です。 セラミック技術資料 素材別焼成時の温度変化
*データは素材別の比較参考例でありサイズや仕様によって変わります。

メリットの一例 <焼成時間の短縮でコストダウン>
アルミナ99.6%を使って焼成治具として販売しています。
熱伝導がよく、昇温スピードが上がり、結果としてコストダウンになります。

サヤ板のクリープテスト

テストピースの大きさ;150×150×1.3t
荷重の重さ;783g
焼成温度;1600℃

クリープテスト

       ↓1600℃に加熱
クリープテスト

           
クリープテスト
1600℃で半年間のサイクル焼成でも変形なし!!

※ただし、製品形状・使用状況によって異なりますので保証は出来ません。
表面が白く見えるのは酸化膜です。


アルミナの板は大きく変形しましたが、SiCの板は全く変形していません!!
耐熱性に優れたSiCをどうぞご利用下さい。

薄型・軽量SiCセッター

高熱伝導で高強度のSiCを"薄く""軽量"な焼成治具に仕上げました!!

メリット① 短時間で昇温・降温が可能となり焼成時間短縮が図れます
メリット② エネルギー消費を抑えます
メリット③ 炉内温度が安定します
メリット④ 耐クリープ性、耐スポーリング性が高いため長寿命化
メリット⑤ 作業負担が軽減 


SiC比較

焼成投入量が増やせます!
セッター比較

肉薄化で焼成段数1.5倍!! (当社比)
温度の追従性が向上!



1600℃焼成比較テスト:従来品ムライト・SiCセッター
セッターグラフ

原料開発から焼成、加工までの一貫生産により特殊品、研究品、開発品にも対応いたします。
高度な成形・加工技術で穴、溝、段(脚)づけ、コーティング、接着対応可能です。
1枚からの小ロットにも対応します。
まずは焼成ワークとの反応性をサンプルでお試し下さい。

SiCセッター即売します!

ネット販売はこちらへ

多段重ねタイプ 残りあとわずか!!
焼成効率の向上をご検討の御社に!!
多段積み仕様:口150mmサイズ 重量165g
SiC多段積み

節電対策・省エネルギー化が望まれている環境の中、熱伝導が良いSiCでかつ、薄い板材を使用することで焼成炉効率を向上させます。

お問い合わせ

特注サイズや形状も、1点から承ります。
お気軽にお問い合わせください。

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