|
高純度アルミナセラミックスによる各種アルミナAL2O3の製造加工販売メーカー アスザック(株) ファインセラミックス事業部 アルミナ基板、アルミナシートも取り扱っております。 お気軽にお問い合せください。 |
English |
Korean |
中文 |


弊社では中に空洞部を持った構造のセラミックスを製作できます。
構造は積層型と、空洞一体型の2種類あります。空洞部分の形状は自由にカスタマイズ頂けますが、空洞一体型は、幅と高さに制約があります。
厚さが3mm以下であれば、空洞一体型が比較的安価です。
シリコンウエハー搬送用ロボットアーム、バキュームチャックなどのアプリケーション例があります。

積層型中空アルミナ

| 最小 | 最大 | |
|---|---|---|
| A:全体の厚み | 1.5 | 4 |
| B:空洞部厚み | 0.5 | 0.7 |
| C:空洞部と表面の壁厚み | 0.5 | - |
| D:空洞部の幅 | 2 | 6 |
| E:端面からの限界距離 | 2 | - |
| F:吸着穴径 | 0.5 | - |
| G:空洞部の長さ | - | 360 |